品牌页面
产品信息
产品信息
PRODUCTS
纳米技术的振动对策
测量装置
测量解决方案
产品目录
产品方案
展示设施
企业信息
企业信息
Corporate
企业信息
企业理念
质量方针·环境方针
通知
联系我们
品牌页面
产品信息
纳米技术的振动对策
测量装置
测量解决方案
产品目录
产品方案
展示设施
企业信息
企业信息
企业理念
质量方针·环境方针
通知
联系我们
纳米技术的振动对策
Vibration Countermeasures Using Nanotechnology
精密仪器对策
气浮式主动隔振器
α系列拥有专利技术、兼顾隔振、制振及促使迅速复位·维持稳定姿态、性能效果极佳。
面向大载荷设备，系统可以配备6或8个隔振器。
主动隔振装置
根据电子显微镜、光刻机等载荷设备和安装环境的不同进行优化设计。
应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台
从 0.5Hz 的低频范围开始显示卓越的隔振性能
楼板对策
高刚性架台
高刚性架台可将精密仪器设备的安装场地与周边隔开。
根据安装场地和载荷设备进行定制设计、施工以及验证测试。
磁场变动对策
主动消磁系统
当环境磁场发生变化时，电子显微镜等使用电子束的设备会受到磁场的干扰影响。AMC-332系统使用高灵敏度磁场传感器检测空间磁场变化量，主动控制亥姆霍兹线圈创建逆相位补偿磁场，抵消环境磁场的变化。
