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纳米技术的振动对策
Vibration Countermeasures Using Nanotechnology
精密仪器对策
气浮式主动隔振器
α系列拥有专利技术、兼顾隔振、制振及促使迅速复位·维持稳定姿态、性能效果极佳。
面向大载荷设备,系统可以配备6或8个隔振器。
主动隔振装置
根据电子显微镜、光刻机等载荷设备和安装环境的不同进行优化设计。
应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台
从 0.5Hz 的低频范围开始显示卓越的隔振性能
楼板对策
高刚性架台
高刚性架台可将精密仪器设备的安装场地与周边隔开。
根据安装场地和载荷设备进行定制设计、施工以及验证测试。
磁场变动对策
主动消磁系统
当环境磁场发生变化时,电子显微镜等使用电子束的设备会受到磁场的干扰影响。AMC-332系统使用高灵敏度磁场传感器检测空间磁场变化量,主动控制亥姆霍兹线圈创建逆相位补偿磁场,抵消环境磁场的变化。