主动消磁系统
AMC-332

当环境磁场发生变化时,电子显微镜等使用电子束的设备会受到磁场的干扰影响。AMC-332系统使用高灵敏度磁场传感器检测空间磁场变化量,主动控制亥姆霍兹线圈创建逆相位补偿磁场,抵消环境磁场的变化。

主动消磁系统

基本原理

扰动磁场的原因
由铁磁物体的移动(汽车,电梯,列车等)引起,电源噪声(50/60Hz)
周围设备的影响
亥姆霍兹线圈
彼此平行,同样圈数的串联线圈
电流通过,线圈在轴线方向上产生磁场

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AMC-332-配图2.jpgAMC-332-配图3.jpg

特点

高性能:的衰减性能,40~60dB(=降低1/100~1/1000)
低成本:与磁屏蔽室比价,成本大幅下降
施工简单:只需在仪器外围固定安置线圈对

控制方式:3轴控制(X、Y、Z方向),各轴独立反馈控制

动态工作范围:可控磁感应强度 ±25μT(2m正方形时)

可控频率范围:准直流~3.5kHz

衰减率:60 dB(消磁倍率:1/100~1/1000)

1)实测数据 200Hz 外部磁场干扰

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2)实测数据 环境外来扰乱

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应用

扫描电子显微镜(SEM)
透射电子显微镜(TEM)
聚焦离子束(FIB)
质谱仪(MS)
电子束曝光系统(EBL)
掩模检测设备
临界尺寸量测扫描电镜(CD-SEM)

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