主动隔振装置

根据电子显微镜、光刻机等载荷设备和安装环境的不同进行优化设计。

主动隔振装置

特点

权衡隔振与衰减进行最佳设定
支撑要素:空气弹簧

与防振橡胶和金属螺旋弹簧相比,使获得更低的固有频率变得可能,是可以隔断微小振动的优质隔振材料。

通过内部压力的变化,可以承受大范围的载重。

※支撑要素:决定垂直方向的隔振性能的要因

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空气弹簧

节流孔

在空气弹簧及支撑气柱(辅助气罐)之间打开细小流路,通过空气的流动阻力实现阻力特性。

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节流孔


阻尼要素:油阻尼器

对于较大的阻力及大位移,利用油的粘性阻力。

※阻尼要素:通过添加适当的阻尼,可以抑制在操作隔振装置时产生的过度响应和共振增幅。

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油阻尼器


台面调平:调平传感器

使高速和精确的位置控制变得可能。

※台面调平:感知隔振装置的高度,即使载重及重心位置发生变化,也可以时常控制在一定高度。

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调平传感器


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