- 产品信息 - 纳米技术的振动对策
应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台
αL4X-911R2

从 0.5Hz 的低频范围开始显示卓越的隔振性能

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应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台

特点

配备自检功能，可自动调整

规格

外形尺寸（W×D×Hmm）902×1102×152（落座时）
产品重量（kg）320
隔振元件隔膜式空气弹簧
允许载重量1000（均布荷载）
控制系统6自由度反馈＋前馈控制的双重主动控制
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